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派克技术白皮书:小部件的大学问

2019/7/29 8:52:16      点击:

从智能手机到产业机器人,再到超级计算机,随着应用范围不断增加,半导体行业在蓬勃发展的同时,其制程工艺也不断快速提升。然而,无论工艺如何改进,都离不开盐酸、氢氧化钠溶液、过氧化氢溶液,以及乙醇,丙酮等各类高纯度化学品的使用。

这些高纯度化学品具有强酸、强腐蚀性等特性,在其输送系统原材料的选择上,必须慎之又慎。PFA和PTFE因拥有出色的物化性能而进入人们的视野,它们具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂、耐腐蚀等特点,被视为半导体制程中化学品输送系统的理想材料。

例如,在半导体的CMP工艺中,Slurry输送系统的部件就可选用PFA材质。CMP又称化学机械抛光,它能精确并均匀地把硅片抛光为需要的厚度和平坦度,其中,Slurry供应系统与之关系密切。作为一种特殊的化学研磨液,Slurry是由二氧化硅等微小颗粒悬浮在液体中形成的悬浮液,其供应系统将持续为CMP提供制程所需的化学研磨液,一旦系统出现异常,会对CMP制程造成严重损失。

因此,Slurry输送系统对阀门的选用要求严格。比市场上同类产品相比,派克汉尼汾旗下的 22系列PFA膜阀,能更好地符合用户需求。

PARTEK 22_1

双密封点
Slurry有易结晶的特性,一旦在阀座密封处形成结晶,就会影响阀门的关闭功能,造成泄漏故障。因此,22系列膜阀采用膜片密封形状设计,形成双密封点,能有效控制这类故障。在阀门关闭时的应力测试图中,可以观察到双密封点,如果其中一处密封点失效,另一处密封点还将继续工作,从而提高阀门的工作寿命。第三方的测试数据也很好地证明了这一点:在输送盐酸和硫酸时,工作寿命超过210万次;输送纯水时,超过300万次;输送Slurry时,双密封点的效果明显,在系统无故障的条件下,工作寿命超过210万次。

滑梯状流道
目前市场上应用于Slurry阀门多数采用内部无死角的自排放结构,使阀门在不使用时能够排空。22系列膜阀采用滑梯状流道设计,一定程度上减少了流体在阀门内部的停留时间,同时减小流体对阀体不同部位的应力差,从而有效延长阀体的寿命。

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派克汉尼汾旗下的22系列PFA膜阀设计巧妙,质量卓越,能够符合半导体制程中化学品、尤其是Slurry输送的不同要求,更少的故障以及更长的产品寿命将为客户带来更多的价值。